[實用新型]一種熱電偶絲穿線輔助工具無效
| 申請號： | 200620047809.0 | 申請日： | 2006-11-15 |
| 公開（公告）號： | CN200972854Y | 公開（公告）日： | 2007-11-07 |
| 發明（設計）人： | 瞿丹紅;吳協祥;曾繁中 | 申請（專利權）人： | 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/00 | 分類號： | H01L21/00;H01L35/34 |
| 代理公司： | 上海智信專利代理有限公司 | 代理人： | 王潔 |
| 地址： | 2012*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 熱電偶 穿線 輔助工具 | ||
【權利要求書】：
1、一種熱電偶絲穿線輔助工具，其特征在于，該熱電偶絲穿線輔助工具包括基座及安裝在該基座上的蓋體，其中，該基座或該蓋體至少一者的內表面上開設有貫通凹槽。
2、如權利要求1所述的熱電偶絲穿線輔助工具，其特征在于，該蓋體與該基座一端通過軸接結構連接。
3、如權利要求2所述的熱電偶絲穿線輔助工具，其特征在于，該蓋體與該基座另一端通過鎖固結構連接。
4、如權利要求1所述的熱電偶絲穿線輔助工具，其特征在于，該凹槽的內徑與熱電偶絲的半徑相匹配。
5、如權利要求1所述的熱電偶絲穿線輔助工具，其特征在于，該基座和該蓋體的長度與熱電偶絲長度相匹配。
6、如權利要求1所述的熱電偶絲穿線輔助工具，其特征在于，該基座底部至少還設有兩對吸盤。
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H01 基本電氣元件
H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
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H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
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