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[實(shí)用新型]通過波長(zhǎng)變化進(jìn)行面形檢測(cè)的相移干涉儀無效

專利信息
申請(qǐng)?zhí)枺?/td> 200620033979.3 申請(qǐng)日: 2006-04-25
公開(公告)號(hào): CN200950056Y 公開(公告)日: 2007-09-19
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 柴立群;許喬;王濤 申請(qǐng)(專利權(quán))人: 成都太科光電技術(shù)有限責(zé)任公司
主分類號(hào): G01B9/02 分類號(hào): G01B9/02
代理公司: 成都虹橋?qū)@聞?wù)所 代理人: 蒲敏
地址: 610041四*** 國(guó)省代碼: 四川;51
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 通過 波長(zhǎng) 變化 進(jìn)行 檢測(cè) 相移 干涉儀
【權(quán)利要求書】:
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說明:

1、專利原文基于中國(guó)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局專利說明書;

2、支持發(fā)明專利 、實(shí)用新型專利、外觀設(shè)計(jì)專利(升級(jí)中);

3、專利數(shù)據(jù)每周兩次同步更新,支持Adobe PDF格式;

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