[發明專利]制造用于平板顯示器件的薄膜晶體管的方法

有效

• 申請號: 200610172285.2
• 申請日: 2006-12-30
• 公開（公告）號: CN101097371A
• 公開（公告）日: 2008-01-02
• 發明（設計）人: 樸相旭
• 申請（專利權）人: LG.菲利浦LCD株式會社
• 主分類號: G02F1/1362
• 分類號: G02F1/1362;G02F1/136;G02F1/133;G03F7/20;H01L21/027
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司
• 代理人: 李輝;呂俊剛

技術領域

本發明涉及制造用于平板顯示器件的薄膜晶體管(TFT)的方法。具 體來講，本發明涉及一種利用減少數量的掩模來制造TFT的方法。

背景技術

目前存在對于用于便攜式信息設備的圖像顯示器件的需求。尤其對于 代替陰極射線管(CRT)的平板顯示器(FPD)有很大的需求。液晶顯示 器(LCD)是最流行的平板顯示器(FPD)中的一種。LCD器件通過利用 液晶的光各向異性來顯示圖像。LCD器件由于提供了高分辨率和良好圖像 質量的優點而已被用作筆記本計算機和臺式計算機的監視器。

LCD器件包括：第一基板一濾色器基板；第二基板-陣列基板；以及 形成在濾色器基板和陣列基板之間的液晶層。LCD器件是通過光刻來制造 的。光刻包括用于形成包括薄膜晶體管(作為開關元件)的陣列基板的多 個掩模工藝。

圖1是表示用于LCD器件的薄膜晶體管陣列基板的某些部分的平面 圖。在圖1中，線I-I’對應于薄膜晶體管部分和數據線部分，線II-II’對應 于數據焊盤部分，而線III-III’對應于選通焊盤部分。

根據型號不同，現有技術的用于制造LCD器件的方法可能涉及多個 掩模，例如四、五或六個掩模。例如，在圖1中，該現有技術方法可以使 用四個掩模，包括(i)用于形成柵極的第一掩模；(ii)用于形成有源層以 及源極和漏極的第二掩模；(iii)用于在鈍化層中形成接觸孔的第三掩模； 和(iv)用于形成像素電極的第四掩模。

現有技術的制造LCD器件的方法中所使用的掩?？赡苁前嘿F的。隨 著制造方法中使用更多的掩模，制造成本可能顯著提高。使用掩模時，接 下來要進行諸如照射、剝離(stripping)和清潔的附加工藝。因此，需要 制造LCD器件的工藝，特別是減少制造方法中所使用的掩模的數量。

發明內容

在一個實施例中，一種制造薄膜晶體管的方法包括利用第一掩模構圖 出柵極，并且利用第二掩模形成有源圖案和光刻膠圖案?；陬A定寬度的 蝕刻阻體(stopper)對光刻膠圖案進行灰化(ash)。對位于經灰化光刻膠圖 案下的絕緣層進行構圖，以形成蝕刻阻體。利用第三掩模構圖出源極和漏 極。

在另一實施例中，一種制造薄膜晶體管的方法包括在絕緣基板上形成 柵極，并且在柵極上形成有源層和蝕刻阻體。在包括蝕刻阻體的絕緣基板 的整個表面上形成金屬層。通過選擇性地蝕刻金屬層而露出蝕刻阻體。通 過蝕刻剩余的金屬層而在蝕刻阻體的兩側形成源極和漏極。

在另一實施例中，一種制造LCD器件的方法包括制備限定有薄膜晶體 管部分、數據線部分、選通焊盤部分和數據焊盤的絕緣基板。利用第一掩 模在絕緣基板上形成選通線，該選通線包括形成在薄膜晶體管部分中的柵 極。并且利用該第一掩模在選通焊盤部分中形成選通焊盤。利用第二掩模 形成有源圖案和光刻膠圖案?；陬A定寬度的蝕刻阻體對光刻膠圖案進行 灰化。對經灰化光刻膠圖案下的絕緣層進行構圖，以形成蝕刻阻體。利用 第三掩模在薄膜晶體管部分中形成數據線，并在數據焊盤部分中形成數據 焊盤。形成與漏極相連的像素電極。

附圖說明

所包括的用于提供對本發明的進一步理解，并結合且構成本說明書一 部分的附圖示出了本發明的實施例，并連同說明書一起用于解釋本發明的 原理。

圖1是表示根據現有技術的薄膜晶體管陣列基板的平面圖；

圖2是表示根據本發明一個實施例的薄膜晶體管陣列基板的平面圖； 以及

圖3A至3I是沿圖2的剖視線截取的表示用于制造薄膜晶體管陣列基 板的方法的剖視圖。

具體實施方式

下面將詳細參照本發明的優選實施例，其示例在附圖中示出。

圖2是表示根據本發明一個實施例的薄膜晶體管陣列基板的某些部分 的平面圖。圖2包括與薄膜晶體管部分和數據線部分相對應的線IV-IV’、 與數據焊盤部分相對應的線V-V’以及與選通焊盤部分相對應的線VI-VI’。 圖3A到3I是沿圖2的線IV-IV’、V-V’和VI-VI’截取的表示采用3掩模工 藝來制造LCD器件的方法的剖視圖。