[發(fā)明專利]調整射束的均勻性的離子束照射裝置和方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200610168622.0 | 申請日： | 2006-12-19 |
| 公開（公告）號： | CN1988107A | 公開（公告）日： | 2007-06-27 |
| 發(fā)明（設計）人： | 池尻忠司 | 申請（專利權）人： | 日新意旺機械股份有限公司 |
| 主分類號： | H01J37/317 | 分類號： | H01J37/317;H01L21/265 |
| 代理公司： | 中原信達知識產權代理有限責任公司 | 代理人： | 李濤;鐘強 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 調整 均勻 離子束 照射 裝置 方法 | ||
【權利要求書】：
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