[發明專利]水質評價方法、用該方法的超純水評價裝置及制造系統有效
| 申請號： | 200610168085.X | 申請日： | 2006-12-18 |
| 公開（公告）號： | CN1987457A | 公開（公告）日： | 2007-06-27 |
| 發明（設計）人： | 小林秀樹;森田博志 | 申請（專利權）人： | 栗田工業株式會社 |
| 主分類號： | G01N33/18 | 分類號： | G01N33/18;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產權代理有限公司 | 代理人： | 苗堃;劉繼富 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 水質 評價 方法 超純水 裝置 制造 系統 | ||
【說明書】：
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