[發明專利]研磨方法無效
| 申請號： | 200610167061.2 | 申請日： | 1998-10-30 |
| 公開（公告）號： | CN1974129A | 公開（公告）日： | 2007-06-06 |
| 發明（設計）人： | 近藤誠一;本間喜夫;佐久間憲之;武田健一;日野出憲治 | 申請（專利權）人： | 株式會社日立制作所 |
| 主分類號： | B24B29/00 | 分類號： | B24B29/00;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京市金杜律師事務所 | 代理人： | 楊宏軍 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 研磨 方法 | ||
【說明書】：
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