[發(fā)明專利]膜片式光纖壓強傳感器無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200610165531.1 | 申請日： | 2006-12-21 |
| 公開（公告）號： | CN101206149A | 公開（公告）日： | 2008-06-25 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 張文濤;李芳;劉育梁 | 申請（專利權(quán)）人： | 中國科學院半導體研究所 |
| 主分類號： | G01L1/24 | 分類號： | G01L1/24;G01L11/02;G01L19/00 |
| 代理公司： | 中科專利商標代理有限責任公司 | 代理人： | 湯保平 |
| 地址： | 100083北*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 膜片 光纖 壓強 傳感器 | ||
1.一種膜片式光纖壓強傳感器，其特征在于，包括：
一支撐筒，該支撐筒為光纖壓強傳感器的主體，該支撐筒為一筒狀，其下端側(cè)壁的同軸處開有一圓孔；
一膜片，該膜片位于支撐筒的底部，以封閉支撐筒的下端；
一光纖光柵，該光纖光柵固定在膜片的上面，該光纖光柵的尾纖穿過支撐筒側(cè)壁上的圓孔；
一端蓋，該端蓋蓋合于支撐筒的上面；
一溫度補償光纖光柵，該溫度補償光纖光柵固定在端蓋的下面，該溫度補償光纖光柵的尾纖穿過支撐筒側(cè)壁上的一圓孔。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的膜片式光纖壓強傳感器，其特征在于，其中所述的光纖光柵是粘接固定于膜片的上面。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的膜片式光纖壓強傳感器，其特征在于，其中所述的膜片的上面固定有第一凸臺和第二凸臺，所述的光纖光柵的兩端是粘接固定于第一凸臺和第二凸臺上。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的膜片式光纖壓強傳感器，其特征在于，其中所述的支撐筒側(cè)壁上的圓孔處進一步安裝兩圓柱形接頭，用于引出光纖光柵和溫度補償光纖光柵的尾纖。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的膜片式光纖壓強傳感器，其特征在于，其中所述的膜片與支撐筒為分體結(jié)構(gòu)或為一體結(jié)構(gòu)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的膜片式光纖壓強傳感器，其特征在于，其中所述的端蓋與支撐筒通過螺栓固定或粘接固定。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的膜片式光纖壓強傳感器，其特征在于，其中所述的支撐筒與端蓋聯(lián)接處以及圓柱型接頭內(nèi)涂有高強度密封膠，使支撐筒內(nèi)部構(gòu)成密閉的空氣腔。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的膜片式光纖壓強傳感器，其特征在于，其中所述的端蓋與支撐筒的材料的熱膨脹系數(shù)相同。
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