[發(fā)明專利]液滴噴射頭、其制造方法以及液滴噴射裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200610164560.6
• 申請(qǐng)日: 2006-12-07
• 公開（公告）號(hào): CN101054019A
• 公開（公告）日: 2007-10-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 井上洋;片岡雅樹;村上裕紀(jì)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 富士施樂株式會(huì)社
• 主分類號(hào): B41J2/14
• 分類號(hào): B41J2/14;B41J2/16;C23C16/22;C23C16/56;C09K3/18
• 代理公司: 北京三友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 丁香蘭;謝栒

1.一種液滴噴射頭，所述液滴噴射頭配備有液體噴射能量驅(qū)動(dòng)裝置以從噴嘴噴出液體，所述液滴噴射頭包括：

噴嘴板，該噴嘴板具有用于噴射液滴的所述噴嘴；

設(shè)置在該噴嘴板上的四面體非晶碳膜；以及

設(shè)置在該四面體非晶碳膜上的疏水膜。

2.如權(quán)利要求1所述的液滴噴射頭，其中，所述四面體非晶碳膜是通過等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法或者陰極電弧法而形成的。

3.如權(quán)利要求1所述的液滴噴射頭，其中，所述四面體非晶碳膜的厚度約為3納米～80納米。

4.如權(quán)利要求1所述的液滴噴射頭，其中，所述疏水膜包含氟類樹脂。

5.如權(quán)利要求4所述的液滴噴射頭，其中，所述包含氟類樹脂的疏水膜是通過等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相生長(zhǎng)法或沉積法而形成的。

6.如權(quán)利要求4所述的液滴噴射頭，其中，所述包含氟類樹脂的疏水膜是通過以下方式形成的：通過等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相生長(zhǎng)法或沉積法來形成氟類樹脂的前體，然后通過加熱使該氟類樹脂前體聚合。

7.如權(quán)利要求1所述的液滴噴射頭，其中，所述疏水膜的厚度約為1納米～30納米。

8.如權(quán)利要求1所述的液滴噴射頭，其中，所述噴嘴板包含聚酰亞胺樹脂。

9.一種液滴噴射頭的制造方法，所述液滴噴射頭配備有液體噴射能量驅(qū)動(dòng)裝置以從噴嘴噴出液體，所述制造方法包括：

在噴嘴板上形成用于噴射液滴的噴嘴之前，在該噴嘴板上形成四面體非晶碳膜；

在該四面體非晶碳膜上形成疏水膜；以及

在所述噴嘴板上形成所述噴嘴。

10.如權(quán)利要求9所述的液滴噴射頭的制造方法，其中，所述四面體非晶碳膜是通過等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法或者陰極電弧法而形成的。

11.如權(quán)利要求9所述的液滴噴射頭的制造方法，其中，所述四面體非晶碳膜的厚度約為3納米～80納米。

12.如權(quán)利要求9所述的液滴噴射頭的制造方法，其中，所述疏水膜包含氟類樹脂。

13.如權(quán)利要求12所述的液滴噴射頭的制造方法，其中，所述包含氟類樹脂的疏水膜是通過等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相生長(zhǎng)法或沉積法而形成的。

14.如權(quán)利要求12所述的液滴噴射頭的制造方法，其中，所述包含氟類樹脂的疏水膜是通過以下方式而形成的：通過等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相生長(zhǎng)法或沉積法來形成氟類樹脂的前體，然后通過加熱使該氟類樹脂前體聚合。

15.如權(quán)利要求9所述的液滴噴射頭的制造方法，其中，所述疏水膜的厚度約為1納米～30納米。

16.如權(quán)利要求9所述的液滴噴射頭的制造方法，其中，所述噴嘴板包含聚酰亞胺樹脂。

17.如權(quán)利要求9所述的液滴噴射頭的制造方法，其中，所述的在噴嘴板上形成噴嘴包括：用激光照射所述噴嘴板的與形成有所述疏水膜的表面相反的表面。

18.如權(quán)利要求17所述的液滴噴射頭的制造方法，其中，所述激光是受激準(zhǔn)分子激光。

19.一種液滴噴出裝置，該裝置配備有權(quán)利要求1～8中任一項(xiàng)所述的液滴噴射頭。