[發明專利]老化試驗裝置及老化試驗板無效
| 申請號： | 200610163541.1 | 申請日： | 2006-11-29 |
| 公開（公告）號： | CN1979193A | 公開（公告）日： | 2007-06-13 |
| 發明（設計）人： | 進藤篤;牧田大輔;北一三 | 申請（專利權）人： | 日商日本工程技術股份有限公司 |
| 主分類號： | G01R31/00 | 分類號： | G01R31/00;G01R1/02;H01L21/66 |
| 代理公司： | 中科專利商標代理有限責任公司 | 代理人： | 李香蘭 |
| 地址： | 日本神*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 老化 試驗裝置 老化試驗 | ||
【說明書】：
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