[發明專利]化學增強型光刻膠組合物無效
| 申請號： | 200610162068.5 | 申請日： | 2003-09-09 |
| 公開（公告）號： | CN1963667A | 公開（公告）日： | 2007-05-16 |
| 發明（設計）人： | 高田佳幸;吉田勛;中西弘俊 | 申請（專利權）人： | 住友化學工業株式會社 |
| 主分類號： | G03F7/039 | 分類號： | G03F7/039 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產權代理有限公司 | 代理人： | 逯長明 |
| 地址： | 日本大阪市中*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 化學 增強 光刻 組合 | ||
【權利要求書】：
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