[發(fā)明專利]現(xiàn)場基板處理的方法和裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200610161719.9 | 申請日： | 2006-12-13 |
| 公開（公告）號： | CN101031181A | 公開（公告）日： | 2007-09-05 |
| 發(fā)明（設計）人： | 黃廣瑤;劉福倫;楊玉偉 | 申請（專利權）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分類號： | H05H1/26 | 分類號： | H05H1/26;H05K3/02 |
| 代理公司： | 北京康信知識產權代理有限責任公司 | 代理人： | 余剛 |
| 地址： | 美國加利*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 現(xiàn)場 處理 方法 裝置 | ||
【權利要求書】：
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