[發(fā)明專利]限定圖案的方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200610160485.6 | 申請(qǐng)日： | 2005-07-01 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN1963678A | 公開（公告）日： | 2007-05-16 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | M·I·埃格貝;M·勒根扎;T·維伊德;J·M·里克 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 氣體產(chǎn)品與化學(xué)公司 |
| 主分類號(hào)： | G03F7/42 | 分類號(hào)： | G03F7/42;H01L21/02;G03F7/038;G03F7/039 |
| 代理公司： | 中國(guó)專利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 段曉玲;趙蘇林 |
| 地址： | 美國(guó)賓夕*** | 國(guó)省代碼： | 美國(guó);US |
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| 搜索關(guān)鍵詞： | 限定 圖案 方法 | ||
【說明書】：
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- 專利分類
G03 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)
G03F 圖紋面的照相制版工藝，例如，印刷工藝、半導(dǎo)體器件的加工工藝；其所用材料；其所用原版；其所用專用設(shè)備
G03F7-00 圖紋面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工藝；圖紋面照相制版用的材料，如：含光致抗蝕劑的材料；圖紋面照相制版的專用設(shè)備
G03F7-004 .感光材料
G03F7-12 .網(wǎng)屏印刷模或類似印刷模的制作，例如，鏤花模版的制作
G03F7-14 .珂羅版印刷模的制作
G03F7-16 .涂層處理及其設(shè)備
G03F7-20 .曝光及其設(shè)備
G03F 圖紋面的照相制版工藝，例如，印刷工藝、半導(dǎo)體器件的加工工藝；其所用材料；其所用原版；其所用專用設(shè)備
G03F7-00 圖紋面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工藝；圖紋面照相制版用的材料，如：含光致抗蝕劑的材料；圖紋面照相制版的專用設(shè)備
G03F7-004 .感光材料
G03F7-12 .網(wǎng)屏印刷模或類似印刷模的制作，例如，鏤花模版的制作
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