[發明專利]玻璃基板處理裝置、玻璃基板處理系統和處理方法無效
| 申請號： | 200610159930.7 | 申請日： | 2006-09-26 |
| 公開（公告）號： | CN1939853A | 公開（公告）日： | 2007-04-04 |
| 發明（設計）人： | 神田敏朗;長野由龜雄;蘆田兼治 | 申請（專利權）人： | 愛斯佩克株式會社 |
| 主分類號： | C03B29/00 | 分類號： | C03B29/00;C03B5/235 |
| 代理公司： | 北京紀凱知識產權代理有限公司 | 代理人： | 龍淳 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 玻璃 處理 裝置 系統 方法 | ||
【權利要求書】：
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