[發明專利]半導體裝置的檢查方法及裝置無效
| 申請號： | 200610159898.2 | 申請日： | 2006-11-06 |
| 公開（公告）號： | CN1963548A | 公開（公告）日： | 2007-05-16 |
| 發明（設計）人： | 二川清 | 申請（專利權）人： | 恩益禧電子股份有限公司 |
| 主分類號： | G01R31/00 | 分類號： | G01R31/00;G01R31/308;G01R31/311;G01R31/265;H01L21/66;G01N27/82 |
| 代理公司： | 中原信達知識產權代理有限責任公司 | 代理人： | 陸錦華;謝麗娜 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 半導體 裝置 檢查 方法 | ||
【說明書】：
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