[發明專利]使用氟化氬光致抗蝕劑的方法和裝置有效
| 申請號： | 200610159600.8 | 申請日： | 1997-12-31 |
| 公開（公告）號： | CN1983029A | 公開（公告）日： | 2007-06-20 |
| 發明（設計）人： | 鄭載昌;卜喆圭;白基鎬 | 申請（專利權）人： | 海力士半導體有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/004 | 分類號： | G03F7/004;G03F7/027;G03F7/00 |
| 代理公司： | 中原信達知識產權代理有限責任公司 | 代理人： | 王海川;樊衛民 |
| 地址： | 韓國京畿*** | 國省代碼： | 韓國;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 使用 氟化 氬光致抗蝕劑 方法 裝置 | ||
【說明書】：
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