[發明專利]探針片粘貼架、探針卡、半導體檢測裝置及其制造方法無效
| 申請號： | 200610159560.7 | 申請日： | 2006-09-27 |
| 公開（公告）號： | CN1952667A | 公開（公告）日： | 2007-04-25 |
| 發明（設計）人： | 春日部進;莊司照雄;長谷部昭男;出口善宣;成康則 | 申請（專利權）人： | 株式會社瑞薩科技 |
| 主分類號： | G01R1/067 | 分類號： | G01R1/067;G01R1/073;G01R31/26;G01R31/28;H01L21/66 |
| 代理公司： | 永新專利商標代理有限公司 | 代理人： | 陳英俊 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 探針 粘貼 半導體 檢測 裝置 及其 制造 方法 | ||
【權利要求書】：
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