[發(fā)明專利]掃描型電子顯微鏡及缺陷檢測裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200610156779.1 | 申請日： | 2006-12-27 |
| 公開（公告）號： | CN101022075A | 公開（公告）日： | 2007-08-22 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 立花一郎;佐藤貢;深田敦子;鈴木直正;福田宗行 | 申請（專利權(quán)）人： | 株式會社日立高新技術(shù) |
| 主分類號： | H01J37/28 | 分類號： | H01J37/28;H01J37/244;G01N23/225;G01N13/10 |
| 代理公司： | 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 | 代理人： | 劉建 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 掃描 電子顯微鏡 缺陷 檢測 裝置 | ||
【說明書】：
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