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[發明專利]一種抗腐蝕性復合SiO2膜的制備方法及應用有效

專利信息
申請號: 200610155919.3 申請日: 2006-12-31
公開(公告)號: CN101033542A 公開(公告)日: 2007-09-12
發明(設計)人: 馬學虎;陳宏霞;陳嘉賓;白濤 申請(專利權)人: 大連理工大學
主分類號: C23C18/12 分類號: C23C18/12;C23C18/04
代理公司: 大連理工大學專利中心 代理人: 侯明遠;李寶元
地址: 116024遼*** 國省代碼: 遼寧;21
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摘要:
搜索關鍵詞: 一種 腐蝕性 復合 sio sub 制備 方法 應用
【說明書】:
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