[發明專利]用于襯底、尤其是掩膜和掩膜基底的無酸清洗工藝無效
| 申請號： | 200610152856.6 | 申請日： | 2006-10-20 |
| 公開（公告）號： | CN1958177A | 公開（公告）日： | 2007-05-09 |
| 發明（設計）人： | 哈拉爾德·科斯特;亨利森·O·奧莫雷吉 | 申請（專利權）人： | 史考特公司 |
| 主分類號： | B08B3/00 | 分類號： | B08B3/00;B08B3/12;B08B3/02;B08B3/08;F26B5/08;G03F1/00;G03F7/26 |
| 代理公司： | 北京律盟知識產權代理有限責任公司 | 代理人： | 王允方;劉國偉 |
| 地址： | 德國*** | 國省代碼： | 德國;DE |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 襯底 尤其是 基底 清洗 工藝 | ||
【說明書】：
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