[發明專利]可除去聚合物阻擋層的拋光漿液有效
| 申請號： | 200610151796.6 | 申請日： | 2006-09-07 |
| 公開（公告）號： | CN1927975A | 公開（公告）日： | 2007-03-14 |
| 發明（設計）人： | T·M·托馬斯;葉倩萩 | 申請（專利權）人： | 羅門哈斯電子材料CMP控股股份有限公司 |
| 主分類號： | C09G1/02 | 分類號： | C09G1/02;C09G1/16;H01L21/304 |
| 代理公司： | 上海專利商標事務所有限公司 | 代理人： | 沙永生 |
| 地址： | 美國特*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 除去 聚合物 阻擋 拋光 漿液 | ||
【說明書】：
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