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[發明專利]半導體裝置及其制造方法無效

專利信息
申請號: 200610151362.6 申請日: 2006-09-07
公開(公告)號: CN1979870A 公開(公告)日: 2007-06-13
發明(設計)人: 大塚隆史;中林隆;柴田義行 申請(專利權)人: 松下電器產業株式會社
主分類號: H01L27/108 分類號: H01L27/108;H01L27/102;H01L27/10;H01L27/00;H01L21/8242;H01L21/8222;H01L21/82;H01L21/02;H01L21/00
代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 代理人: 汪惠民
地址: 日本*** 國省代碼: 日本;JP
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摘要:
搜索關鍵詞: 半導體 裝置 及其 制造 方法
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