[發(fā)明專利]基板傳輸裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200610151302.4
• 申請(qǐng)日: 2006-09-05
• 公開（公告）號(hào): CN101139045A
• 公開（公告）日: 2008-03-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鐘允升;董福慶;黃信纮
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 財(cái)團(tuán)法人工業(yè)技術(shù)研究院
• 主分類號(hào): B65G49/06
• 分類號(hào): B65G49/06;B65G49/07;B65G54/02;H01L21/677
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務(wù)所
• 代理人: 魏曉剛;李曉舒

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明關(guān)于一種基板的傳輸裝置，特別是一種用于腔體內(nèi)的基板傳輸裝置。

背景技術(shù)

在制作工藝設(shè)備產(chǎn)業(yè)中，傳輸裝置幾乎都是將所有的傳輸組件裝置在腔體內(nèi)部，而主要的傳輸型態(tài)可分為接觸式與非接觸式。接觸式傳輸通常是使用機(jī)械力來作為傳輸動(dòng)力，在傳輸過程中很容易因傳動(dòng)件磨損發(fā)生彈跳或偏擺現(xiàn)象，且各傳輸組件間的彼此摩擦，亦會(huì)造成粉粒(particle)的生成，污染制作工藝環(huán)境，影響制作工藝品質(zhì)；而非接觸式傳輸，則是指使用非接觸力來作為傳輸動(dòng)力的傳輸方式，如氣浮和磁力等。德國(guó)OTB?SOLAR公司所推出的Capacity機(jī)種就是一種裝置于腔體內(nèi)部的非接觸式傳輸系統(tǒng)，其是利用電磁感應(yīng)原理達(dá)成傳輸功能，雖然可以改善接觸式傳輸所衍生的問題，但其所有主被動(dòng)傳輸組件皆裝置于腔體內(nèi)部，容易被腔體內(nèi)的制作工藝環(huán)境與反應(yīng)生成物所污染，進(jìn)而導(dǎo)致維修保養(yǎng)成本的增加。

發(fā)明內(nèi)容

有鑒于上述先前技術(shù)的介紹，不難得知傳統(tǒng)的傳輸裝置顯然未能同時(shí)解決防止粉粒生成而污染腔體、減少維修成本及時(shí)間、以及避免傳輸裝置受制作工藝污染等問題，基于實(shí)際需要，發(fā)明人設(shè)計(jì)一「基板傳輸裝置」，以期解決上述的問題。

本發(fā)明的主要目的，在于提供一種構(gòu)造簡(jiǎn)單且適用于腔體內(nèi)的基板傳輸裝置，以達(dá)到避免腔體內(nèi)的粉粒生成以及傳輸裝置受制作工藝污染的效果。其特征為：

在腔體外部設(shè)置有旋轉(zhuǎn)輪，且沿著旋轉(zhuǎn)輪的旋轉(zhuǎn)方向在旋轉(zhuǎn)輪的輪面上設(shè)置有一圈第一磁鐵，每一個(gè)第一磁鐵遠(yuǎn)離旋轉(zhuǎn)輪端的極性皆與相鄰的第一磁鐵遠(yuǎn)離旋轉(zhuǎn)輪端的極性彼此相反；

腔體內(nèi)部設(shè)置一承載板，且沿著承載板的移動(dòng)方向在承載板的下方設(shè)置有一串第二磁鐵，每一個(gè)第二磁鐵遠(yuǎn)離承載板端的極性皆與相鄰的第二磁鐵遠(yuǎn)離承載板端的極性相反；

旋轉(zhuǎn)輪上的第一磁鐵與承載板上的第二磁鐵彼此間有相互作用的磁場(chǎng)，因此產(chǎn)生磁力并互相牽引，當(dāng)旋轉(zhuǎn)腔體外部的旋轉(zhuǎn)輪時(shí)，第一磁鐵的磁場(chǎng)相位角改變，使第一磁鐵與第二磁鐵間的磁場(chǎng)相位產(chǎn)生變化，進(jìn)而改變磁力分布，以此牽引第二磁鐵，并帶動(dòng)承載板移動(dòng)。

本發(fā)明至少具有下列的優(yōu)點(diǎn)：傳輸裝置構(gòu)造簡(jiǎn)單、穩(wěn)定性高，可提供腔體內(nèi)承載板的平穩(wěn)移動(dòng)。且主動(dòng)傳輸組件置于腔體外部，維修簡(jiǎn)便；被動(dòng)傳輸組件則置于承載板下方受承載板保護(hù)，因此傳輸裝置的主動(dòng)與被動(dòng)組件皆不易受腔體內(nèi)的制作工藝反應(yīng)生成物沉積或腐蝕所造成的污染破壞；帶動(dòng)承載板移動(dòng)的動(dòng)力來源為磁力，屬于非接觸力，因此在傳輸過程中，不會(huì)發(fā)生傳動(dòng)組件磨損的現(xiàn)象，因此不易產(chǎn)生粉粒(particle)而污染腔體。

為使本發(fā)明的上述目的、特征、和優(yōu)點(diǎn)能更明顯易懂，下文特舉優(yōu)選實(shí)施例并配合附圖做詳細(xì)說明。

附圖說明

圖1為本發(fā)明的構(gòu)造示意立體圖。

圖2為本發(fā)明的構(gòu)造示意剖面圖。

圖3為本發(fā)明構(gòu)造的部分放大圖。

圖4為本發(fā)明的作動(dòng)方式示意圖。

圖5為本發(fā)明的作動(dòng)方式示意圖。

圖6為本發(fā)明的作動(dòng)方式示意圖。

圖7為本發(fā)明另一實(shí)施方式的構(gòu)造示意圖。

圖8為本發(fā)明另一實(shí)施方式的構(gòu)造示意圖。

主要組件符號(hào)說明

1...基座

2...旋轉(zhuǎn)輪

3...第一磁鐵

31...第一磁鐵N極

32...第一磁鐵S極

4...第二磁鐵

41...第二磁鐵N極

42...第二磁鐵S極

5...隔離板

6...承載板

7...腔體

8...履帶

9...滑軌

10...限制件

具體實(shí)施方式

本發(fā)明為一種「基板傳輸裝置」，請(qǐng)參閱圖1、圖2與圖3所示，主要包含有：一基座1、一旋轉(zhuǎn)輪2、一第一磁鐵3、一第二磁鐵4、一隔離板5、一承載板6、一腔體7、一滑軌9。

各組件間的關(guān)系如下述：

請(qǐng)參閱圖2，基座1設(shè)置在腔體7的外部，在基座1上設(shè)有一個(gè)或多數(shù)個(gè)旋轉(zhuǎn)輪2，旋轉(zhuǎn)輪2的旋轉(zhuǎn)軸心被固定在基座1上，因此旋轉(zhuǎn)輪2無法移動(dòng)，但可轉(zhuǎn)動(dòng)。

旋轉(zhuǎn)輪2設(shè)置在腔體7的外部，且沿著旋轉(zhuǎn)輪2的旋轉(zhuǎn)方向在旋轉(zhuǎn)輪2的輪面上設(shè)置有一圈第一磁鐵3，如圖3所示，每一個(gè)第一磁鐵3遠(yuǎn)離旋轉(zhuǎn)輪2端的極性N極31均與相鄰的第一磁鐵3遠(yuǎn)離旋轉(zhuǎn)輪2端的極性S極32彼此相反。第一磁鐵3可為永久磁鐵。