[發明專利]有機薄膜三極管傳感器、制作方法及用途

有效

• 申請號: 200610151098.6
• 申請日: 2006-12-05
• 公開（公告）號: CN101196489A
• 公開（公告）日: 2008-06-11
• 發明（設計）人: 趙洪;王東興;殷景華;王喧;桂太龍;宋明歆
• 申請（專利權）人: 哈爾濱理工大學
• 主分類號: G01N27/414
• 分類號: G01N27/414;H01L51/00
• 代理公司: 哈爾濱東方專利事務所
• 代理人: 陳曉光

1.一種有機薄膜三極管傳感器，其組成包括：鋁蒸發膜構成的柵極，其特征是：所述的鋁蒸發膜柵極兩側具有有機半導體的酞菁銅薄膜，兩者之間形成肖特基壁壘，源極和漏極采用與酞菁銅蒸發膜成歐姆性接觸的金蒸發膜，所述的漏極為多孔的金電極，所述的漏極和酞菁銅之間具有有機氣體敏感膜。

2.根據權利要求1所述的有機薄膜三極管傳感器，其特征是：所述的酞菁銅可采用鑭系金屬配合物的雙核酞菁、稀土金屬配位的三明治結構酞菁、16氟取代的酞菁鋅。

3.一種權利要求1或2所述的有機薄膜三極管傳感器的制作方法，其特征是：首先在玻璃基板上制作金蒸發膜源電極，然后制作第一層CuPc蒸發膜，和制作薄膜鋁柵極及第二層CuPc薄膜，最后制作金蒸發膜漏電極。試樣制作的條件是，CuPc的蒸發溫度為400℃、基板溫度為室溫20℃，上下二層CuPc薄膜膜厚由蒸發時間控制、蒸發速度為3nm/min。上下二層CuPc薄膜膜厚度分別為70nm，130nm，半導電薄膜鋁柵極厚度為20nm。

4.一種權利要求1、2、3所述的有機薄膜三極管傳感器在特定氣體微量的測定方面的應用。