[發明專利]基板運送處理裝置無效
| 申請號： | 200610149986.4 | 申請日： | 2006-10-25 |
| 公開（公告）號： | CN1954928A | 公開（公告）日： | 2007-05-02 |
| 發明（設計）人： | 熊澤博嗣 | 申請（專利權）人： | 東京應化工業株式會社 |
| 主分類號： | B05C13/02 | 分類號： | B05C13/02;C03C17/00;H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產權代理有限公司 | 代理人： | 雒運樸;徐謙 |
| 地址： | 日本神*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 運送 處理 裝置 | ||
【說明書】：
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