[發明專利]中空式陰極放電裝置

有效

• 申請號: 200610149467.8
• 申請日: 2006-11-21
• 公開（公告）號: CN101192500A
• 公開（公告）日: 2008-06-04
• 發明（設計）人: 杜陳忠;江銘通;董福慶;鄭欽峰;沈添沐
• 申請（專利權）人: 財團法人工業技術研究院
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32;H01J37/00;H05H1/00
• 代理公司: 北京紀凱知識產權代理有限公司
• 代理人: 程偉;王錦陽

1.一種中空式陰極放電裝置，其特征在于，包括：

中空陽極電極，具有第一腔室、及連通該第一腔室的多個陽極開孔；

中空陰極電極，其與該中空陽極電極保持絕緣地固定于該第一腔室中，且具有第二腔室、及連通該第二腔室并對應于各該陽極開孔的多個陰極開孔；以及

氣體分配管，固定于該第二腔室中并連通至中空陽極電極外部以供導入反應氣體，且與該中空陰極電極之間圍成一沿其軸向繞經各該陰極開孔的螺旋信道，以通過該螺旋通道形成多個連續且相連通的反應腔室，并設有連通以供導入反應氣體至各該反應腔室的氣體分流孔。

2.根據權利要求1所述的中空式陰極放電裝置，其特征在于，該氣體分配管具有一外螺旋部，以通過該外螺旋部而與該中空陰極電極之間圍成該螺旋通道。

3.根據權利要求1所述的中空式陰極放電裝置，其特征在于，該中空陰極電極具有一內螺旋部，以通過該內螺旋部而與該氣體分配管之間圍成該螺旋通道。

4.根據權利要求1、2或3所述的中空式陰極放電裝置，其特征在于，該氣體分配管為一偏心管。

5.根據權利要求1所述的中空式陰極放電裝置，其特征在于，該氣體分配管為一偏心管，且偏心方向鄰近各該氣體分流孔而遠離各該陰極開孔。

6.根據權利要求1所述的中空式陰極放電裝置，其特征在于，該氣體分配管設有對應該反應腔室且沿軸向排列的偶數個氣體分流孔。

7.根據權利要求6所述的中空式陰極放電裝置，其特征在于，偶數個氣體分流孔朝不同方向對稱配置。

8.根據權利要求1所述的中空式陰極放電裝置，其特征在于，該氣體分配管兩端分別接通一絕緣導氣管貫穿至該中空陽極電極外部，以供自兩端同時導入反應氣體。

9.根據權利要求1所述的中空式陰極放電裝置，其特征在于，多個陽極開孔及陰極開孔對應各該反應腔室而沿軸向間隔排列。

10.根據權利要求1所述的中空式陰極放電裝置，其特征在于，各該反應腔室對應左、右兩個由軸心朝不同方向輻射的陰極開孔及陽極開孔，且多個陰極開孔及陽極開孔對應各該反應腔室而沿軸向左、右交錯間隔排列。

11.根據權利要求1、9或10所述的中空式陰極放電裝置，其特征在于，該陰極開孔及陽極開孔均呈長條形斷面。

12.根據權利要求1所述的中空式陰極放電裝置，其特征在于，該中空陽極電極還設有貫穿至該第一腔室的絕緣管，以通過該絕緣管對外接通高頻電源陰極至該中空陰極電極。

13.根據權利要求1所述的中空式陰極放電裝置，其特征在于，該中空陽極電極設有分別位于該第一腔室兩端的二個絕緣定位柱，以通過二該絕緣定位柱固定該中空陰極電極位置并保持絕緣。

14.根據權利要求1所述的中空式陰極放電裝置，其特征在于，該中空陰極電極是由一中空陰極管兩端各封閉一端蓋構成。