[發明專利]適合于酸生成劑的鹽和含有該鹽的化學放大型抗蝕劑組合物無效
| 申請號： | 200610149463.X | 申請日： | 2006-11-17 |
| 公開（公告）號： | CN1971421A | 公開（公告）日： | 2007-05-30 |
| 發明（設計）人： | 山口訓史;原田由香子;吉田勛 | 申請（專利權）人： | 住友化學株式會社 |
| 主分類號： | G03F7/039 | 分類號： | G03F7/039 |
| 代理公司： | 中科專利商標代理有限責任公司 | 代理人： | 陳平 |
| 地址： | 日本國*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 適合于 生成 含有 化學 大型 抗蝕劑 組合 | ||
【權利要求書】：
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