[發明專利]抗反射膜和曝光方法無效
| 申請號： | 200610148672.2 | 申請日： | 2006-09-06 |
| 公開（公告）號： | CN1952788A | 公開（公告）日： | 2007-04-25 |
| 發明（設計）人： | 松澤伸行;渡辺陽子;布恩塔里卡·桑納卡特;小澤謙 | 申請（專利權）人： | 索尼株式會社 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20;G02B1/00;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律師事務所 | 代理人： | 陶鳳波 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 反射 曝光 方法 | ||
【說明書】：
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