[發(fā)明專利]具有對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記層的半導(dǎo)體器件及其制造方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200610148663.3 | 申請(qǐng)日： | 2006-11-22 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN1971903A | 公開（公告）日： | 2007-05-30 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 黃皓益;李受哲 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 三星電子株式會(huì)社 |
| 主分類號(hào)： | H01L23/544 | 分類號(hào)： | H01L23/544;H01L23/485;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律師事務(wù)所 | 代理人： | 陶鳳波 |
| 地址： | 韓國(guó)*** | 國(guó)省代碼： | 韓國(guó);KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 具有 對(duì)準(zhǔn) 標(biāo)記 半導(dǎo)體器件 及其 制造 方法 | ||
【說(shuō)明書】：
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- 使用物理對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記和虛擬對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)
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- 用于標(biāo)記標(biāo)記對(duì)象的標(biāo)記系統(tǒng)
- 標(biāo)記方法及標(biāo)記裝置
