[發明專利]控制半導體器件制造過程的方法和控制系統有效
| 申請號： | 200610148655.9 | 申請日： | 2006-11-22 |
| 公開（公告）號： | CN1979359A | 公開（公告）日： | 2007-06-13 |
| 發明（設計）人： | 黃鎮豪;韓宙撤 | 申請（專利權）人： | 三星電子株式會社 |
| 主分類號： | G05B19/02 | 分類號： | G05B19/02;H01L21/00;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律師事務所 | 代理人： | 邵亞麗;李曉舒 |
| 地址： | 韓國*** | 國省代碼： | 韓國;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 控制 半導體器件 制造 過程 方法 控制系統 | ||
【說明書】：
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