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[發明專利]具有金屬和多晶硅柵電極的高性能電路及其制造方法有效

專利信息
申請號: 200610148517.0 申請日: 2006-11-17
公開(公告)號: CN1992275A 公開(公告)日: 2007-07-04
發明(設計)人: 陳自強;V·K·帕魯許里;V·納拉亞南;A·C·卡勒伽里;張郢;B·B·多里斯;M·P·胡齊克;M·L·斯特恩;Y-H·金 申請(專利權)人: 國際商業機器公司
主分類號: H01L27/092 分類號: H01L27/092;H01L21/8238;H01L29/78;H01L29/49;H01L21/336;H01L21/28
代理公司: 北京市中咨律師事務所 代理人: 于靜;李崢
地址: 美國*** 國省代碼: 美國;US
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摘要:
搜索關鍵詞: 具有 金屬 多晶 電極 性能 電路 及其 制造 方法
【說明書】:
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