[發明專利]一種在制品調配系統以及方法

無效

• 申請號: 200610148087.2
• 申請日: 2006-12-27
• 公開（公告）號: CN101211179A
• 公開（公告）日: 2008-07-02
• 發明（設計）人: 方利;王玉娜;魏騁;周珉
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類號: G05B19/418
• 分類號: G05B19/418;G05B19/04;H01L21/677;H01L21/00
• 代理公司: 上海智信專利代理有限公司
• 代理人: 王潔

技術領域

本發明涉及半導體制造領域，特別涉及一種在制品調配系統以及方法。

背景技術

在集成電路制造過程中，晶圓需經過清洗、擴散、光刻、刻蝕、氧化等多道工序，才能制成具有特定功能的芯片，之后才能進入后道的測試、切割及封裝工序以制成可直接使用的硬件。為保證整個生產的有序進行，通常每道工序后都會設有用以存儲已完成該道工序的晶圓的倉庫。

通常一個大的芯片制作基地會具有多條生產線，且每一生產線單獨進行生產，當一條生產線出現設備故障或環境污染等突發狀況時，會造成其中一道或多道工序后的在制品嚴重堆積，甚至超過對應倉庫的容納極限。而其他生產線的與該突發狀況的生產線對應的工序后的存儲在制品的倉庫及后續工序存在著冗余。如此，即會因該些生產線之間在制品的不均衡而極大地降低了生產效率。

發明內容

本發明的目的在于提供一種在制品調配系統以及方法，通過所述在制品調配系統以及方法，可避免多條生產線間因在制品不均衡所造成的生產率低下。

本發明的目的是這樣實現的：一種在制品調配系統，用于調配多條生產線的倉庫中存儲的在制品以確保該多條生產線的在制品庫存數量平衡，該系統包括設置在各個倉庫中的客戶端、一網絡連接單元以及通過該網絡連接單元連接至每一客戶端的服務器，其中，該多個客戶端偵測其對應倉庫中的在制品數量并將其發送至該服務器，該服務器接收到該在制品數量并將其進行一處理程序后得到在制品調配控制指令，該服務器將所得調配控制指令發送至對應的客戶端以供其依照該調配控制指令輸送相應數量的在制品至目的地。

在上述的在制品調配系統中，該客戶端包括：一設置在倉庫中且用以偵測在制品數量的偵測單元；一用以接收服務器發送的調配控制指令以及發送偵測單元所偵測的在制品的數量至服務器的客戶端收發單元；一用以輸送在制品的輸送單元；以及一用以控制輸送單元輸送在制品至目的地的控制單元。

在上述的在制品調配系統中，該服務器包括：一用以接收客戶端發送的在制品的數量及發送調配控制指令至客戶端的服務器收發單元；以及一用以將服務器收發單元接收到的在制品數量經一處理程序后得到在制品調配控制指令的處理模塊。

在上述的在制品調配系統中，該輸送單元為載送小車。

本發明還提供一種在制品調配方法，其利用在制品調配系統，用于調配多條生產線的倉庫中存儲的在制品以確保該多條生產線的在制品庫存數量平衡，其包括以下步驟：偵測在制品數量并將其發送至服務器；服務器接收在制品數量并將其進行一處理程序后得到在制品調配控制指令；將所得調配控制指令發送至對應的客戶端；以及對應的客戶端接收到該調配控制指令后依照該指令輸送相應數量的在制品至目的地。

在上述的在制品調配方法中，該輸送單元為載送小車。

與現有的在多條生產線間無在制品調配功能相比，本發明的在制品調配系統以及方法，可避免由于多條生產線間的在制品不均衡所造成的生產率低下。

附圖說明

本發明的在制品調配系統以及方法由以下的實施例及附圖給出。

圖1為本發明的在制品調配系統的方框結構示意圖；

圖2為本發明的在制品調配系統的實施例的結構示意圖；

圖3為本發明的在制品調配方法的實施例的流程示意圖。

具體實施方式

以下將對本發明的在制品調配系統以及方法作進一步的詳細描述。

如圖1所示，本發明的在制品調配系統1，用于調配多條生產線的倉庫(未圖示)中存儲的在制品以確保該多條生產線的在制品庫存數量平衡，其包括設置在各個倉庫中的客戶端10、網絡連接單元11以及通過網絡連接單元11連接至每一客戶端10的服務器12。

客戶端10包括偵測單元100、客戶端收發單元101、控制單元102以及輸送單元103。其中，偵測單元100，設置在倉庫中，用以偵測在制品的數量；客戶端收發單元101，用以發送偵測單元100所偵測的在制品的數量至服務器12，及接收服務器12發送的調配控制指令；輸送單元103，用以輸送在制品；控制單元102，用以依照客戶端收發單元101所接收的調配控制指令控制輸送單元103輸送在制品至目的地。在本發明的較佳實施例中，輸送單元103為載送小車。