[發明專利]扭轉模態下的硅微機械懸臂梁傳感器驅動結構、制作方法及應用有效
| 申請號： | 200610147846.3 | 申請日： | 2006-12-22 |
| 公開（公告）號： | CN1994860A | 公開（公告）日： | 2007-07-11 |
| 發明（設計）人： | 金大重;李昕欣 | 申請（專利權）人： | 中國科學院上海微系統與信息技術研究所 |
| 主分類號： | B81B3/00 | 分類號： | B81B3/00;B81C5/00;B81C1/00;G01N13/00 |
| 代理公司： | 上海智信專利代理有限公司 | 代理人： | 潘振甦 |
| 地址： | 200050*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 扭轉 模態下 微機 懸臂梁 傳感器 驅動 結構 制作方法 應用 | ||
【權利要求書】：
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