[發明專利]一種全光學微機械非致冷紅外熱成像芯片結構及制作方法無效
| 申請號： | 200610147625.6 | 申請日： | 2006-12-20 |
| 公開（公告）號： | CN1994861A | 公開（公告）日： | 2007-07-11 |
| 發明（設計）人： | 李鐵;周玉修;王翊;熊斌;王躍林 | 申請（專利權）人： | 中國科學院上海微系統與信息技術研究所 |
| 主分類號： | B81B7/02 | 分類號： | B81B7/02;B81B5/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 上海智信專利代理有限公司 | 代理人： | 潘振甦 |
| 地址： | 200050*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 光學 微機 致冷 紅外 成像 芯片 結構 制作方法 | ||
【權利要求書】：
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