[發明專利]半導體制造的派工管理系統及方法

無效

• 申請號: 200610147432.0
• 申請日: 2006-12-18
• 公開（公告）號: CN101206728A
• 公開（公告）日: 2008-06-25
• 發明（設計）人: 馬海;周宇;蘇遠志
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類號: G06Q10/00
• 分類號: G06Q10/00;G06Q50/00
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司
• 代理人: 逯長明

技術領域

本發明涉及半導體制造技術領域，特別涉及一種半導體制造的派工管理系統及方法。

背景技術

對于當前半導體工廠中廣泛應用的制造執行系統(MES)，如國際商業機器(1BM)公司的SIVIEW，提供的派工管理機制無法保證準時交貨率，即利用此派工管理機制實施的派工管理無法體現在制品交期、設備負荷、制程時間限制以及在制品及設備的運行狀況等因素。由于制造執行系統缺乏有效的派工管理機制，制程工程師在處理需考慮上述因素的批貨情況時必須以紙本記錄等人工方式在設備機臺上指定制程程序編號且使用手動模式處理，使得制造程序拖延，違反廠區自動化的趨勢。

如何提供一種可保證準時交貨率的派工管理方法成為本領域技術人員亟待解決的問題。

專利號為“ZL?200310103814.X”的中國專利中提供了一種半導體制程等待時間限制下的派工控制方法，其實施于一具有輸入單元及運算單元的電子計算機及一運送系統，用以決定多個晶圓產品中哪一種能送進制造系統。應用該方法進行派工控制的步驟包括：首先，由該輸入單元接收每一種晶圓產品的相對產量及等待時間限制。接著，由該計算單元計算每一晶圓產品的多制造過程加工需求時間以及每一晶圓產品的總等待時間限制。由該計算單元根據該加工需求時間以及總等待時間限制的比較結果，決定哪一種晶圓產品可被送入該制造系統，當一晶圓產品的多制造過程加上需求時間小于總等待時間限制，批次晶圓可被送入制造系統中處理或者在既定的機臺中進一步處理該晶圓產品，再依據該派工結果，將該選定的晶圓嚴品運送至該制造系統。

顯然，應用該方法進行派工控制時，僅通過制程等待時間限制保證準時交貨率，而無法根據在制品交期、設備負荷、制程時間限制以及在制品及設備的運行狀況等因素的任意組合靈活地實現派工控制。

發明內容

本發明提供了一種半導體制造的派工管理方法及系統，可根據在制品交期、設備負荷、制程時間限制以及在制品及設備的運行狀況等因素的任意組合靈活地實現派工控制。

本發明提供的一種半導體制造的派工管理方法，包括：

根據設備和在制品的基本信息，以一派工處理單元計算所述設備和在制品的擴展信息，并將所述擴展信息存儲至信息管理單元；

以所述派工處理單元，由信息管理單元讀取設備和在制品的基本信息及擴展信息；并且，以所述派工處理單元，由規則管理單元讀取對應所述基本信息及擴展信息的派工標準及派工基準；

利用所述派工處理單元根據所述信息管理單元提供的基本信息及擴展信息及所述規則管理單元提供的對應所述基本信息及擴展信息的派工標準及派工基準對所述設備和在制品進行派工操作，并提供派工清單。

執行所述派工操作包括利用所述擴展單元計算設備及在制品的擴展信息以及利用所述重組單元將所述WIP按順序排列；執行所述派工操作還包括利用所述過濾單元保留能在當前設備上運行的WIP；執行所述派工操作還包括利用所述分組單元根據將所述WIP分為真值組和假值組；執行所述派工操作還包括利用所述批處理單元對瓶頸設備前的WIP進行批處理；執行所述派工操作還包括利用所述修飾單元隱藏運算過程中產生的中間數據；所述派工管理方法還包括利用監控單元監控所述派工操作的執行情況。

利用所述監控單元對所述派工操作的執行情況進行監控的方法包括：

利用記錄單元獲得設備加工在制品后第一派工清單；

利用激活判別單元確定所述第一派工清單內被激活的在制品數/在制品批數；

利用派工評估單元確定所述第一派工清單內存在被激活的在制品時，則利用標準判別單元檢查被激活的在制品是否滿足派工基準，若滿足派工基準，則判定為派工成功；若不滿足派工基準，則獲得設備加工在制品前第二派工清單，并利用激活判別單元確定所述第二派工清單內被激活的在制品數/在制品批數，當所述被激活的在制品滿足派工基準，則判定為派工成功；若不滿足派工基準，則判定為派工失敗；

利用派工評估單元確定所述第一派工清單內不存在被激活的在制品時，則獲得設備加工在制品前第二派工清單，若被禁止的在制品數/在制品批數為零，則判定所述派工無效；若被禁止的在制品數/在制品批數不為零，則判定所述派工失敗。所述派工無效包括對生產線內非瓶頸設備進行派工操作。所述被禁止的在制品包含不滿足至少一個派工標準的在制品。

本發明提供的一種半導體制造的派工管理系統，包括：

信息管理單元，用以存儲所述設備及在制品的基本信息及擴展信息；