[發(fā)明專利]熱處理裝置無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200610146541.0 | 申請日： | 2006-11-15 |
| 公開（公告）號： | CN1967118A | 公開（公告）日： | 2007-05-23 |
| 發(fā)明（設計）人： | 神田敏朗;長野由龜雄;蘆田兼治 | 申請（專利權）人： | 愛斯佩克株式會社 |
| 主分類號： | F27B5/04 | 分類號： | F27B5/04;H01L21/02;H01L21/68 |
| 代理公司： | 北京紀凱知識產權代理有限公司 | 代理人： | 龍淳 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 熱處理 裝置 | ||
【說明書】：
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