[發明專利]電阻式微橋濕度感測結構及其制造方法

有效

• 申請號: 200610145706.2
• 申請日: 2006-11-14
• 公開（公告）號: CN101183085A
• 公開（公告）日: 2008-05-21
• 發明（設計）人: 陳榮泰;李佳言;邱以泰;朱俊勛
• 申請（專利權）人: 財團法人工業技術研究院
• 主分類號: G01N27/12
• 分類號: G01N27/12
• 代理公司: 北京律誠同業知識產權代理有限公司
• 代理人: 梁揮;祁建國

1.一種電阻式微橋濕度感測結構，其特征在于，包括：

一基座，具有一第一表面及一第二表面，該第一表面上成型一第一絕緣阻隔層，該第二表面上成型一第二絕緣阻隔層，且該基座具有一開口自該第二絕緣阻隔層穿入，并在該第一絕緣阻隔層預留一橋座區域后貫穿該第一絕緣阻隔層而形成通孔；

一感測部，其是一圖案化成型于該橋座上的電阻感應層，該電阻感應層材料可隨材料長度改變而造成電阻值變化，該電阻感應層上并覆蓋有一濕度感測層，該濕度感測層的材料可隨濕度變化而改變體積；以及

至少二測量電極，成型于該感測部的電阻感應層兩端，而固定該感測部于該第一絕緣阻隔層上，該二測量電極由導電金屬或合金材料構成，以測量該電阻感應層的電阻值。

2.根據權利要求所述的1電阻式微橋濕度感測結構，其特征在于，該第一絕緣阻隔層上還包含一以該電阻感應層材料成型的溫度補償感應電極。

3.根據權利要求所述的1電阻式微橋濕度感測結構，其特征在于，該基座為一硅材料層。

4.根據權利要求所述的1電阻式微橋濕度感測結構，其特征在于，該濕度感測層為一多孔性陶瓷、有機材料或聚亞醯胺層。

5.根據權利要求所述的1電阻式微橋濕度感測結構，其特征在于，該電阻感應層為一白金材料層。

6.根據權利要求所述的1電阻式微橋濕度感測結構，其特征在于，該電阻感應層為單一直線、多條平行直線或加長的彎曲連續折線形電阻感應層。

7.一種電阻式微橋濕度感測結構的制造方法，其特征在于，步驟包括：

提供一基座，該基座具有一第一表面及一第二表面；

沉積一第一絕緣阻隔層于該第一表面，一第二絕緣阻隔層于該第二表面上，該第一絕緣阻隔層具有一橋座區域；

圖案化一可隨材料長度改變而變化電阻值的電阻感應層于該第一絕緣阻隔層的該橋座區域上；

涂布一可隨濕度變化而改變材料體積的濕度感測層于該電阻感應層上；

形成測量電極于該第一絕緣阻隔層的橋座兩端，并固定該電阻感應層二端，以供測量該電阻感應層的電阻值；以及

刻蝕該基座自該第二絕緣阻隔層至該第一絕緣阻隔層而形成一開口，且該開口避開該第一絕緣阻隔層的橋座區域后貫穿該第一絕緣阻隔層。

8.根據權利要求7所述的電阻式微橋濕度感測結構的制造方法，其特征在于，在該圖案化一可隨長度改變而變化電阻值材料的電阻感應層于該第一絕緣阻隔層的該橋座區上步驟時，還包含同時形成在該第一絕緣阻隔層的橋座區域其它區域上形成一溫度補償感應電極。

9.根據權利要求7所述的電阻式微橋濕度感測結構的制造方法，其特征在于，該濕度感測層加載的方式為旋轉涂布、鋼板印刷、真空蒸鍍、涂布、網版印刷、平版?印刷、濺鍍、點注、澆注、或貼合。