[發明專利]一種包含兩種極化方向壓電薄膜的傳感振動膜

無效

• 申請號: 200610144250.8
• 申請日: 2006-11-30
• 公開（公告）號: CN101192644A
• 公開（公告）日: 2008-06-04
• 發明（設計）人: 喬東海;郝震宏;湯亮;田靜
• 申請（專利權）人: 中國科學院聲學研究所
• 主分類號: H01L41/09
• 分類號: H01L41/09;H01L27/20;B06B1/06;G10K13/00;H04R7/00
• 代理公司: 北京泛華偉業知識產權代理有限公司
• 代理人: 高存秀

1.一種包含兩種極化方向壓電薄膜的傳感振動膜，由由下至上的支撐層、下電極、壓電薄膜和上電極組成；其特征在于，所述上電極包括相互分離的第一上電極和第二上電極，所述下電極為公共下電極，所述壓電薄膜包括位于第一上電極正下方的第一壓電薄膜區域，和位于第二上電極正下方的第二壓電薄膜區域，所述第一壓電薄膜區域與第二壓電薄膜區域的極化方向相反，所述第一上電極和第二上電極分別作為整個振動膜的輸入輸出電極。

2.一種包含兩種極化方向壓電薄膜的傳感振動膜，由由下至上的支撐層、下電極、壓電薄膜和上電極組成；其特征在于，所述上電極包括相互分離的第一上電極和第二上電極，所述下電極為公共下電極，所述壓電薄膜包括位于第一上電極正下方的第一壓電薄膜區域，和位于第二上電極正下方的第二壓電薄膜區域，所述第一壓電薄膜區域與第二壓電薄膜區域的極化方向相反；一組所述第一上電極、第二上電極、第一壓電薄膜區域、第二壓電薄膜區域和公共下電極構成一個壓電傳感單元；

所述支撐層上具有n個壓電傳感單元，從第一個壓電傳感單元起，每一個壓電傳感單元的第二上電極與下一個壓電傳感單元的第一上電極電連接，直至第n個壓電傳感單元，將極化電壓正、負極分別加在第一個壓電傳感單元的第一上電極和第n個壓電傳感單元的第二上電極上對整個壓電薄膜進行極化，將第一個壓電傳感單元的第一上電極和第n個壓電傳感單元的第二上電極分別作為整個振動膜的輸入輸出電極，其中n為2～512之間的整數。

3.按權利要求1或2所述的包含兩種極化方向壓電薄膜的傳感振動膜，其特征在于，所述壓電薄膜是鋯鈦酸鉛或聚氟乙烯聚合物制作的壓電薄膜。

4.按權利要求1或2所述的包含兩種極化方向壓電薄膜的傳感振動膜，其特征在于，所述壓電薄膜的厚度在0.01um～300um之間。

5.按權利要求4所述的包含兩種極化方向壓電薄膜的傳感振動膜，其特征在于，所述壓電薄膜是單層薄膜或由多層薄膜組成。

6.按權利要求1或2所述的包含兩種極化方向壓電薄膜的傳感振動膜，其特征在于，所述支撐層是氮化硅薄膜、二氧化硅薄膜、多晶硅薄膜、硅薄膜或以上薄膜組成的復合膜。

7.按權利要求1或2所述的包含兩種極化方向壓電薄膜的傳感振動膜，其特征在于，所述支撐層厚度為0.01um～500um。

8.按權利要求1或2所述的包含兩種極化方向壓電薄膜的傳感振動膜，其特征在于，所述支撐層的形狀是矩形或圓形。

9.按權利要求1或2所述的包含兩種極化方向壓電薄膜的傳感振動膜，其特征在于，所述第一壓電薄膜區域與第二壓電薄膜區域的極化方向相反是通過將極化電壓正、負極分別加在所述第一上電極和第二上電極上進行極化而實現的。