[發明專利]使用邊緣印刷工藝的圖案密度控制方法無效
| 申請號： | 200610143933.1 | 申請日： | 2006-11-03 |
| 公開（公告）號： | CN1959539A | 公開（公告）日： | 2007-05-09 |
| 發明（設計）人： | 戴維·V.·霍拉克;查爾斯·W.克伯格三世;古川俊治;馬克·C.·哈克;斯蒂芬·J.·霍姆斯 | 申請（專利權）人： | 國際商業機器公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 | 代理人： | 秦晨 |
| 地址： | 美國*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 使用 邊緣 印刷 工藝 圖案 密度 控制 方法 | ||
【說明書】：
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