[發(fā)明專利]激光束、紫外線照射周邊曝光裝置及其方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200610143735.5 | 申請日： | 2006-11-03 |
| 公開（公告）號： | CN1959537A | 公開（公告）日： | 2007-05-09 |
| 發(fā)明（設計）人： | 劍持晴康;佐藤博明;池田泰人;森昌人 | 申請（專利權(quán)）人： | 株式會社ORC制作所 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20;G03B17/48;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京三友知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人： | 黨曉林 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 激光束 紫外線 照射 周邊 曝光 裝置 及其 方法 | ||
【權(quán)利要求書】：
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