[發明專利]涂布裝置有效
| 申請號： | 200610143525.6 | 申請日： | 2006-11-10 |
| 公開（公告）號： | CN1963670A | 公開（公告）日： | 2007-05-16 |
| 發明（設計）人： | 原田光治;內河喜代司 | 申請（專利權）人： | 東京應化工業株式會社 |
| 主分類號： | G03F7/16 | 分類號： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 北京三友知識產權代理有限公司 | 代理人： | 丁香蘭;趙冬梅 |
| 地址： | 日本神*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 裝置 | ||
【說明書】：
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