[發明專利]分離柵極閃存的故障檢測方法

無效

• 申請號: 200610143316.1
• 申請日: 2006-11-03
• 公開（公告）號: CN101174474A
• 公開（公告）日: 2008-05-07
• 發明（設計）人: 吳升;黃宗正;張格滎;廖益良
• 申請（專利權）人: 力晶半導體股份有限公司
• 主分類號: G11C29/48
• 分類號: G11C29/48
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所
• 代理人: 邸萬奎;黃小臨

1.一種分離柵極閃存的故障檢測方法，其中所述分離柵極閃存具有由多個存儲單元所組成的存儲單元陣列，每一個所述存儲單元位于多條位線與多條字線的相交處，且每一個所述存儲單元至少具有浮動柵及選擇柵極，而所述字線連接所述選擇柵極，所述方法包括：

對所述分離柵極閃存進行井區漏電流測試；

對所述分離柵極閃存中所有的存儲單元進行擦除操作；

檢查所述存儲單元的第一個位映象，以找出發生故障的存儲單元；

讀取發生故障的存儲單元的電流值，以判斷發生故障的存儲單元是否真的故障，若「是」則繼續進行下面的步驟，若「否」則進行到第一子系統；以及

分析發生故障的所述存儲單元的故障類型，其中

若整條所述位線的所述存儲單元發生故障，則歸類為位線故障的故障類型，進行到第二子系統，

若整條所述字線的多個所述存儲單元發生故障，則歸類為字線故障的故障類型，進行到第三子系統。

2.如權利要求1所述的分離柵極閃存的故障檢測方法，其中進行到所述第二子系統包括：

讀取發生故障的整條所述位線的所述存儲單元的電流值；

判斷發生故障的整條所述位線的所述存儲單元的電流值是否相同，若「是」則繼續進行下面的步驟，若「否」則進行到第一子系統；

讀取與發生故障的所述位線相鄰的兩條位線的所有存儲單元的電流值；

將發生故障的位線的所述存儲單元的電流值與相鄰的兩條位線的存儲單元的電流值進行比較，以分析發生故障的所述存儲單元的故障類型，其中

若發生故障的所述位線的所述存儲單元的電流值與相鄰的兩條位線中的至少一條上的存儲單元的電流值相同，則歸類為位線-位線間短路的故障類型，

若發生故障的所述位線的所述存儲單元的電流值與相鄰的兩條位線的存儲單元的電流值均不相同，則歸類為位線-字線間短路的故障類型；以及

記錄所述存儲單元發生故障的位置。

3.如權利要求1所述的分離柵極閃存的故障檢測方法，其中進行到所述第三子系統包括：

讀取發生故障的整條字線的多個所述存儲單元的電流值；

當整條字線的多個所述存儲單元發生故障時，判斷發生故障的存儲單元的電流值是否相同，若「是」則歸類為浮動柵-浮動柵間短路及/或浮動柵-選擇柵極間短路的故障類型并繼續進行下面的步驟，若「否」則進行到第一子系統；以及

記錄所述存儲單元發生故障的位置。

4.如權利要求1至3中任一項所述的分離柵極閃存的故障檢測方法，其中進行到所述第一子系統包括：

對所述分離柵極閃存中所有的存儲單元進行編程操作；

檢查所述存儲單元的第二個位映象，以找出發生故障的所述存儲單元；

讀取發生故障的所述存儲單元的電流值，以判斷發生故障的所述存儲單元是否真的故障，若「是」則繼續進行下面的步驟，若「否」則歸類為其它故障的故障類型；

分析發生故障的所述存儲單元的故障類型，其中

若所述位線相鄰的兩個存儲單元發生故障，則歸類為成對故障的故障類型，

若發生故障的所述存儲單元的故障是周期性地出現，則歸類為周期性故障的故障類型，進行到第四子系統，

若發生故障的所述存儲單元的故障是隨機地出現，則歸類為其它故障的故障類型；以及

記錄所述存儲單元發生故障的位置。

5.如權利要求4所述的分離柵極閃存的故障檢測方法，其中進行到所述第四子系統，包括：

分析發生故障的所述存儲單元的故障類型，其中

若僅一個發生故障的所述存儲單元為周期性地出現，則歸類為布局故障的故障類型，

若整條所述字線的所述存儲單元發生故障的情況為周期性地出現，歸則類為對準偏移故障，

若不時所述布局故障及所述對準偏移故障的故障類型，則歸類為其它故障的故障類型；以及

記錄所述存儲單元發生故障的位置。