[發明專利]微型流體系統用支撐單元及其制造方法

有效

• 申請號: 200610142733.4
• 申請日: 2003-02-25
• 公開（公告）號: CN101096008A
• 公開（公告）日: 2008-01-02
• 發明（設計）人: 河添宏;中祖昭士;有家茂晴
• 申請（專利權）人: 日立化成工業株式會社
• 主分類號: B01J19/00
• 分類號: B01J19/00;B01L3/00;G01N37/00;B81B1/00
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司
• 代理人: 鐘晶

本申請是申請號為：03804567.2，申請日為2003年2月25日，發明創造名稱為：微型流體系統用支撐單元及其制造方法的發明專利申請的分案申請。?

技術領域

本發明是關于在支撐體上將中空細絲敷設固定成規定的形狀的微型流體系統用支撐單元及其制造方法。?

背景技術

在化學或生化學的領域，關于應用微型電子機械系統(MEMS；MicroElectro?Mechanical?system)技術的反應系統或分析裝置的小型化的研究正在進行。在以往的研究開發中，存在具備構成要素的微型馬達、微型泵浦的單一機能的微型化的機械要素(微型機械)。?

為了進行目的化學反應與化學分析，需要多個組合微型機械等的各種零件來加以系統化。一般，這些系統的完成型被稱為微型反應器系統(MicroReactor?System)、微型化學分析系統(μTAS：Micro?Total?Analysis?System)。通常，微型機械適用半導體制造過程，形成于硅芯片上。將多個要素形成(聚積)在一個芯片上而將其系統化，在原理上是可能的，其編組實際上也正在進行。但是，其制作過程復雜，可預想到在量產規模上是不易制造的。因而提出：在硅基板的規定的位置以蝕刻等形成溝槽做成流路的芯片型基板(毫微反應器)作為連接多個微型機械等而形成流體回路(系統)的方法。比起上述的聚積化的方法具有制造變得更容易的優點。但是，流路斷面積小，流體與溝槽側的接口阻抗大。在現狀，其流路長度最大為mm單位，在實際進形合成反應與化學分析，反應與分析的工序數、量受到限制。?

但是，其制作過程復雜，可預想到在量產等級是不易制造的。因此，在近年，提出：在硅基板的規定的位置以蝕刻等形成溝槽做成流路的芯片型基板作為連接多個微型機械等而形成流體回路的方法。對于該方法，比起上述的聚積化的方法具有制造變得更容易的優點。但是，另一方面，對于該方法存在：流路斷面積小，流體與溝槽側的接口阻抗大，在現狀，其流路長度最? 大為mm單位，在實際進形合成反應與化學分析，反應與分析的工序數、量受到限制的問題。?

在現有的基板狀形成流路的構成中，如US6344229，必須在一個基板上相互不交叉形成流路，如果使流路立體交叉，則需設置多個基板。?

發明內容

本發明是為了解決上述課題而完成的。即，本發明的目的是在于：提供制造容易且反應與分析的工序數與量不受限制的cm單位的長距離的微型流體系統用支撐單元。?

本發明的另一目的在于：提供即使復雜的流體回路也不需要場所的小型微型流體系統用支撐單元。?

本發明的又一目的在于：提供能夠形成復雜的流體回路的微型流體系統用支撐單元的制造方法。?

為了實現上述目的，本發明的第1特征的要旨為：具備(a)第一支撐體，(b)設在該第一支撐體的表面的第一粘合劑層，(c)在該第一粘合劑層敷設成任意形狀的中空細絲，以及(d)具備在該在第一粘合劑層敷設成任意形狀的作為微型流體系統的流路層來發揮機能的中空細絲的微型流體系統用支撐單元。在本發明的第1特征中，由于能以交叉在該中空細絲的形式，更可以立體地敷設中空細絲，因此，能夠提供：精準度良好、容易制造，且反應與分析的工序數與量不受限制的cm單位的長距離的微型流體系統用支撐單元。而且，若根據本發明的第1特征，由于可提供即使復雜的流體回路，也不需要場所的小型微型流體系統用支撐單元，因此也可以謀求微型流體系統本身的細致化。?

本發明的第2特征的要旨為：具備(a)第一支撐體，(b)設在該第一支撐體的表面的第一粘合劑層，(c)由在該第一粘合劑層敷設成任意形狀、且分別作為微型流體系統的多個流路層來發揮機能的多個中空細絲所構成的第一中空細絲組群的微型流體系統用支撐單元。在本發明的第2特征中，由于在由多個中空細絲所構成的中空細絲組群，能夠立體地敷設由與這些交叉的多個中空細絲所構成的第二中空細絲組群，故能夠提供：精準度良好、容易制造，且反應與分析的工序數與量不受限制的cm單位的長距離的微型流體系統用支撐單元。而且，若根據本發明的第1特征，由于可提供即使復雜的流體回路，也不需要場所的小型微型流體系統用支撐單元，因此也可以謀求微型流體系統本身的細致化。其中，優選多個中空細絲的至少一個的一部分具備光透過部。