[發(fā)明專利]覆蓋鍵標,其形成方法及使用其測量覆蓋精確度的方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200610142018.0 | 申請日： | 2006-09-30 |
| 公開（公告）號： | CN101005061A | 公開（公告）日： | 2007-07-25 |
| 發(fā)明（設計）人： | 柳到烈 | 申請（專利權）人： | 三星電子株式會社 |
| 主分類號： | H01L23/544 | 分類號： | H01L23/544;H01L21/00;H01L21/66 |
| 代理公司： | 中原信達知識產(chǎn)權代理有限責任公司 | 代理人： | 林宇清;謝麗娜 |
| 地址： | 韓國京畿道水*** | 國省代碼： | 韓國;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 覆蓋 形成 方法 使用 測量 精確度 | ||
【說明書】：
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