[發(fā)明專利]化學(xué)機(jī)械研磨用研磨劑及基板的研磨法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200610141890.3 | 申請(qǐng)日： | 2000-08-17 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN1966548A | 公開（公告）日： | 2007-05-23 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 倉(cāng)田靖;上方康雄;內(nèi)田剛;寺崎裕樹;五十嵐明子 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 日立化成工業(yè)株式會(huì)社 |
| 主分類號(hào)： | C08J5/14 | 分類號(hào)： | C08J5/14;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京銀龍知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人： | 鐘晶 |
| 地址： | 日本*** | 國(guó)省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 化學(xué) 機(jī)械 研磨 研磨劑 | ||
【權(quán)利要求書】：
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