[發(fā)明專利]在等離子體處理系統(tǒng)中處理不同寬度基片的可調(diào)電極組件有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200610141520.X | 申請(qǐng)日： | 2006-09-28 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN1956138A | 公開（公告）日： | 2007-05-02 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 托馬斯·V·博爾登二世 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 諾信公司 |
| 主分類號(hào)： | H01J37/04 | 分類號(hào)： | H01J37/04;H01J37/32;H01J37/00;H05H1/00;H01L21/00;H01L21/3065 |
| 代理公司： | 中原信達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 | 代理人： | 劉莉婕;楊本良 |
| 地址： | 美國俄*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 等離子體 處理 系統(tǒng) 不同 寬度 可調(diào) 電極 組件 | ||
【權(quán)利要求書】：
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