[發(fā)明專利]現(xiàn)場(chǎng)襯底成像無效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200610140724.1 | 申請(qǐng)日： | 2006-09-30 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN1943990A | 公開（公告）日： | 2007-04-11 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 杰弗里·德魯·戴維;尼爾斯·約翰遜;博古斯拉夫·A·斯韋德克 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 應(yīng)用材料股份有限公司 |
| 主分類號(hào)： | B24B49/12 | 分類號(hào)： | B24B49/12;B24B29/02;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京律誠同業(yè)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人： | 徐金國;梁揮 |
| 地址： | 美國加利*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 現(xiàn)場(chǎng) 襯底 成像 | ||
【說明書】：
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