[發(fā)明專利]探針卡移載輔助裝置、檢查設(shè)備和檢查方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200610139281.4 | 申請日： | 2006-09-20 |
| 公開（公告）號： | CN1936594A | 公開（公告）日： | 2007-03-28 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 長坂旨俊;望月智秋 | 申請（專利權(quán)）人： | 東京毅力科創(chuàng)株式會社 |
| 主分類號： | G01R1/02 | 分類號： | G01R1/02;G01R1/067;G01R1/073;G01R31/00;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京紀凱知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人： | 龍淳 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 探針 卡移載 輔助 裝置 檢查 設(shè)備 方法 | ||
【權(quán)利要求書】：
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