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[發明專利]半導體裝置及其制造方法有效

專利信息
申請號: 200610137400.2 申請日: 2006-10-16
公開(公告)號: CN1953198A 公開(公告)日: 2007-04-25
發明(設計)人: 桑原秀明;大沼英人 申請(專利權)人: 株式會社半導體能源研究所
主分類號: H01L27/32 分類號: H01L27/32;H01L51/50
代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 代理人: 張鑫
地址: 日本神*** 國省代碼: 日本;JP
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摘要:
搜索關鍵詞: 半導體 裝置 及其 制造 方法
【權利要求書】:
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說明:

1、專利原文基于中國國家知識產權局專利說明書;

2、支持發明專利 、實用新型專利、外觀設計專利(升級中);

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4、內容包括專利技術的結構示意圖流程工藝圖技術構造圖

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