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[發明專利]具有增加的使用壽命的磁控管源無效

專利信息
申請號: 200610136661.2 申請日: 2006-11-09
公開(公告)號: CN1978697A 公開(公告)日: 2007-06-13
發明(設計)人: 郭信生 申請(專利權)人: 亞升技術公司
主分類號: C23C14/35 分類號: C23C14/35;C23C14/54
代理公司: 北京市金杜律師事務所 代理人: 張維
地址: 美國加利*** 國省代碼: 美國;US
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 具有 增加 使用壽命 磁控管源
【說明書】:
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