[發明專利]用于在制造設施中控制材料流的方法和系統無效
| 申請號： | 200610136608.2 | 申請日： | 2006-10-31 |
| 公開（公告）號： | CN1959570A | 公開（公告）日： | 2007-05-09 |
| 發明（設計）人： | 肯尼思·J·福代斯;理查德·G·伯達;艾爾弗雷德·T·德格博茨;布賴恩·T·登頓;羅伯特·J·米爾恩 | 申請（專利權）人： | 國際商業機器公司 |
| 主分類號： | G05B19/02 | 分類號： | G05B19/02;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律師事務所 | 代理人： | 黃小臨;王志森 |
| 地址： | 美國紐*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 制造 設施 控制 材料 方法 系統 | ||
【權利要求書】：
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